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发布时间:2020-03-18 00:34:18
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。安装注意事项:1、安装前要看说明书了解高1效送风口的尺寸效率要求,必须符合洁净室现场设计要求和客户应用标准。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
无尘室风管的制作
A、风管吊装
1、风管的连接:
2.在净化空调系统中,其法兰垫应为不产尘、不宜老化和具有一定强度和弹性的材料,厚度为5~8mm,不得采用乳胶海绵;并不允许直缝对接连接,接缝采用梯形连接严禁在垫料表面涂涂料;其螺母宜在同一侧法兰接口的连接应严密、牢固。洁净室的测试:1.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。垫片不应凸入管内,亦不宜突出法兰外.3.风管空气温度70度以下, 法兰垫应为橡胶板,闭孔海棉橡胶板密封胶带或其他弹性闭孔材料.4.风管空气温度70度以上, 法兰垫应为石棉橡胶板.
对于各种净化设备方面的需求也需要做到以下几点:
1.工艺设备的设计和排热措施应密切结合,排热以发展水冷为主。
2.对各种净化单元结构(布置和尺寸)应加以改进,使之向有利于减小体积,提高分配均匀性,而又不增加阻力的方向发展。
3.在不影响噪声限度的前提下,提高风机压头有利于延长过滤器的使用寿命,此外风机应能够变速运行。
4.无隔板过滤器和新型空气分配装置可构成即节能又灵活的无尘车间系统。
5.改进排风柜的构造,既便于随时调节风量,又要方便操作。
伴随着我国经济高速发展,无尘车间净化行业的企业也如雨后春笋一般迅速的成长起来,正因为无尘车间净化工程就是环保行业,所以更加相信该行业是一个未来行业发展的趋势。
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