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一次过滤液相捕获： 旋转式螺旋过滤器，将吸入的介质中的固体颗粒首先拦截下来。* 通过对较大固体、粉尘颗粒在前段进行彻底的拦截，大大地减轻了后端多级过滤的压力。二次过滤气相拦截：高压碰撞离心分离拦截液相雾气。* 高压碰撞技术：气溶胶 粒子被粗效过滤件收集，细小的颗粒有逐级滤材完成。* 离心分离拦截液相雾 气：在气流中由不同的工作件定向收集介质对象，不同的介质选用合i适的过滤结构和材质。* 个性滤网拦截气溶胶粒子：在气流结构方面改良固有结构减少阻力提率。各风道口表面选用美国杜邦公司生产的F4进行处理，使机器过滤精度高寿命长。三次过滤真空吸雾：* 含有细小粉尘的各油雾经第三级分离被收集后，经后置活性炭过滤器能有效祛除异味和***气体，十万级净化车间标准，洁净空气在风机负压的作用下，经风机直接排入空气中。

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另外对于低级别洁净室之间，如万级和10万级洁净室之间，净化车间设备，不一定非要设置缓冲室，有些场合，三更的设置也是可以考虑的。缓冲间的设置主要是通过进出两门的不同时开启起到气闸的隔离作用，如果严格管理，一些辅助房间如二更等，完全可以起到缓冲作用。另外，在10万级和万级房间也没有一定设置缓冲的必要。10万级房间和万级房间内的空气含尘浓度不象一些非***人士想象的那样相差10倍，门一开启就会污染。

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